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光刻胶酚醛树脂,光刻胶感光树脂

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  1. 光刻机刻胶的原理?

1、光刻机刻胶的原理?

正性光刻胶也称为正胶。正性光刻胶树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛,提供光刻胶的粘附性、化学抗蚀性,当没有溶解抑制剂存在时,线性酚醛树脂会溶解在显影液中,感光剂是光敏化合物,最常见的是重氮萘醌(DNQ)。

在曝光前,DNQ是一种强烈的溶解抑制剂,降低树脂的溶解速度。

在紫外曝光后,DNQ在光刻胶中化学分解,成为溶解度增强剂,大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。

这种曝光反应会在DNQ中产生羧酸,它在显影液中溶解度很高。

正性光刻胶具有很好的对比度,所以生成的图形具有良好的分辨率。

光刻胶是电子领域微细图形加工关键材料之一,是由感光树脂、增感剂和溶剂等主要成分组成的对光敏感的混合液体。

在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下,其溶解度发生变化,经适当溶剂处理,溶去可溶性部分,最终得到所需图像。 光刻胶作为技术门槛极高的电子化学品一直被国际企业垄断。 随着大力研发和投入, 国内企业已逐步从低端 PCB 光刻胶发展至中端半导体光刻胶的量产。

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